华林科纳智能湿法工作站 ——以标准化硬参数，重构安全与效率标杆

华林科纳智能湿法工作站是在原实验室通风橱的基础上进行了升级，专为半 导体湿法、酸蚀、清洗等高腐蚀、高风险工艺场景打造，以模块化结构设计、全维度安全联锁、精准参数控制、智能语音化运维管理为核心，完全匹

CSE—CDS 中央化学品供液系统，以智能守护先进制程

面向泛半导体高端制造对化学品输送的极致需求，华林科纳全新升级 CSE— CDS 中央化学品自动供液系统。系统融合高纯度材料、智能闭环控制、可视化运 维与多重安全冗余设计，实现稳定供液、精准计量、全程追